河北工业科技

2021, v.38;No.186(02) 91-96

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基于MEMS侧面输出的压力传感器设计
Design of pressure sensor based on MEMS side output

冯飞;续睿玲;秦丽;

摘要(Abstract):

为了解决应用正面压力传感器测量光纤打弯导致光损耗增加的问题,提出了一种应用侧面输出的压力传感器设计方案。对45°的斜面光纤和法珀压力传感器中MEMS工艺键合的敏感单元进行激光焊接,制成了基于MEMS侧面输出的压力传感器。搭建了侧面输出的MEMS压力传感器的测试装置,通过光谱仪对检测信号进行了解调,并对所得数据进行了分析计算。结果表明,传感器的腔长与所加的压力呈现线性关系,其灵敏度为3.048μm/MPa。应用侧面输出压力传感器更有利于管道壁面压力的测量,光信号更容易转换成电信号,减少了光的模式之间的干扰,有助于减少光的损耗。所得结果对狭窄空间和恶劣环境下的管道测量工作提供了更多选择,对实现管道内壁压力的精确测量具有一定的借鉴价值。

关键词(KeyWords): 传感器技术;侧面输出;光纤法珀;MEMS;光损耗

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 冯飞;续睿玲;秦丽;

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